半导体超纯水设备工艺流程
【苏州纯水设备】在半导体、芯片行业中对产线用水水质有很高的要求,同时超纯水设备是否能安全稳定运行对产线来说也是至关重要的。下面简明的对超纯水设备工艺进行对比,根据用水要求以及现场实际情况选择合理的方案。
1、原水→预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水点(≥15MΩ.CM)(传统工艺)
2、原水→预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(传统工艺)
3、原水→预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥17MΩ.CM)(最新工艺)
4、原水→预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(最新工艺)苏州反渗透纯水设备 苏州EDI纯水处理设备 苏州工业纯水设备 苏州超纯水设备 苏州实验室纯水设备 苏州医用纯化水设备
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