超纯水设备在半导体、光伏各行业中的应用
【苏州纯水设备】一、超纯水在晶体管、集成电路生产中的应用
在光伏行业晶体管、集成电路生产中,纯水主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制,硅片氧化的水汽源,部分设备的冷却水,配制电镀液等。
集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。水中细菌高温碳化后的磷(约占灰分的20%~50%)会使P型硅片上的局部区域变化为N型硅而导致器件性能变坏;水中的颗粒(包括细菌)如吸附在硅片表面,就会引起电路短路或特性变差;水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良;重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低;III族元素 (B、Al、Ga等)会使N型半导体特性恶化;V族素(P、As、Sb等)会使P型半导体特性恶化。
二、超纯水在光伏行业电子管中的应用
在光伏行业电子管生产中,电子管阴极需喷涂碳酸盐。如其中混入杂质,就会影响电子的发射,进而影响电子管的放大性能及寿命,因此其配液要使用超纯水。苏州超纯水设备
在显像管和阴极射线管生产中,其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质,是锌或其他金属的硫化物组成的荧火粉颗粒并用硅酸钾粘合而成,其配制需用超纯水,如超纯水中含铜在8ppb以上,就会引起发光变色;含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪动并会造成气泡、条迹、漏光点等废次品。
在显像管荧光屏生产的工序中,玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗等工序需使用纯水,每生产一个晶体管需高纯水80kg。液晶显示器的屏面需有纯水清洗和用纯水配液,如纯水中有金属离子、微生物、微粒等杂质,就会使液晶显示电路发生故障,影响液晶屏质量,导致报废、次品。
三、超纯水设备工艺流程
采用双极反渗透+EDI以及抛光混床工艺,产水水质符合光伏、半导体行业用超纯水,具有产水稳定,操作简单,节能环保等优点。工艺流程如下:
原水箱→原水泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化装置→加药装置→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透系统→中间水箱→二级高压泵→二级反渗透系统→纯水箱→纯水泵→精密过滤器→EDI装置→超纯水箱→抛光混床→微孔膜过滤器→氮封水箱→生产线用水点
(1) 多介质过滤器:去除水中泥沙、杂质、悬浮物以及其它微粒等降低水的浊度。
(2) 活性炭过滤器:利用碳的吸附原理吸附水中异色、异味、余氯等。
(3) 软化装置:置换水中钙镁离子,降低水的硬度。
(4) 抛光混床:进一步提升水质,保证出水符合要求。苏州EDI纯水处理设备
四、超纯水设备特点
(1)系统采用双极反渗透+EDI以及抛光混床模块,确保水质稳定,长效运行。
(2)通过合理的技术设计,最大限度的提高系统回收率,降低能耗和运行成本。
(3)配备专门的有化学清洗系统,可定期对反渗透进行化学清洗,以确保系统稳定运行。
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